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特長

-

用途

蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に。
分析機器、リークテスト装置に。
真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に。

仕様

排気速度(L/min)50/60Hz:1500/1800
到達圧力(Pa):0.67
吸気口径(mm):VG50相当
電源(V):三相マルチ
寸法(mm):280×831×371
全閉外扇三相マルチ電圧モータ50Hz:200~240/380~415V対応、60Hz:200~240/380~460V対応
サーマルプロテクタなし
排気口:VG40相当
使用油:R-7

材質/仕上

シリンダー:鋳鉄
ポンプケース:アルミ鋳物

セット内容/付属品

-

注意

VDポンプにはオイルミストトラップは付属されておりません。
オイルミストトラップのご購入を推奨します。
出荷時は200Vクラスの△結線となっています。
本製品を日本国外へ輸出する場合は手続きが必要となるためご一報下さい。

生産国

日本

メーカー

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